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截面拋光機

Ion Beam Polisher 型號:CP-8000+
CP-8000+ 是一種先進的樣品製備工具,可利用氬離子束蝕刻樣品的橫截面。 此過程可避免物理變形和結構損壞,而無需複雜的化學過程。 此外,該系統還能處理從幾十㎛到幾mm㎛的大面積樣品,從而簡化了樣品的橫斷面分析。
  • CP-8000+ 是一種先進的樣品製備工具,可利用氬離子束蝕刻樣品的橫截面。 此過程可避免物理變形和結構損壞,而無需複雜的化學過程。 此外,該系統還能處理從幾十㎛到幾mm的大面積樣品,從而簡化了樣品的橫斷面分析。

    應用

  • 使用的氣體 氬氣
    銑削速度 700 μm/h (Si at 8kV)
    加速電壓 2~8 kV
    光束直徑 Approx. 500 μm
    操作壓力 4.3 x 10-5 torr
    光束對準 使用數位顯微鏡進行精密光束對準
    最大樣品尺寸 20(W) x 10(D) x 9(H)mm
    樣品移動範圍 (Z: ±2mm, Y: ±2mm)
    旋轉 -35° ~ +35°
    平面銑削台 傾斜範圍:40° 至 80°
    旋轉速度:6 rpm/min
    樣品尺寸 : 直徑 30 x 11.4 mm
    顯示器 觸控面板(1024 x 600 7 吋顯示器)
    腔室攝影機 放大倍率:x5、x10、x20、x40
    4 階亮度控制
    離子束觀察模式
    用於樣品對準的數位相機 放大倍率:x5、x10、x20、x40
    USB 形式
    抽空系統 渦輪分子幫浦(66 公升/秒)+ 隔膜泵
    尺寸 610(W) x 472(D) x 415(H)mm
  • The CP-8000+ is an advanced sample preparation tool that etches a cross section of a sample using an argon ion beam. This process avoids physical deformation and structural damage, without requiring complicated chemical processes. In addition, the system simplifies cross-sectional analysis of the sample by processing large areas from tens of um to several mm.

    application

  • Gas Used Ar(Argon) gas
    Milling Speed 700 μm/h (Si at 8kV)
    Accelerating Voltage 2~8 kV
    Beam Diameter Approx. 500 μm
    Working Pressure 4.3 x 10-5 torr
    Beam Alignment Precision beam alignment
    using Digital Microscope
    Maximum Sample Size 20(W) x 10(D) x 9(H)mm
    Sample Moving Range (Z: ±2mm, Y: ±2mm)
    Rotation -35° ~ +35°
    Stage for Flat Milling Tilt Range : 40° to 80°
    Rotation Speed : 6 rpm/min
    Sample Size : Ø30 x 11.4mm
    Display Touch panel (1024 x 600 7 inch display)
    Chamber Camera Magnification : x5, x10, x20, x40
    4 step brightness control
    Ion beam observation mode
    Digital Camera for sample alignment Magnification : x5, x10, x20, x40
    USB type
    Evacuation System Turbo-molecular pump (66L/s)
    + Diaphragm pump
    Dimension 610(W) x 472(D) x 415(H)mm